上海人工智能实验室联合多家科研机构，基于“书生”科学大模型和自动化研发平台，成功攻克高端KrF光刻胶树脂稳定制备难题。团队构建“AI决策+自动化合成”闭环研发体系，实现从实验方案生成、合成到后处理的全流程自动化，并通过精密控制技术将树脂金属杂质含量稳定在极低水平，显著提升材料纯度与一致性。该模式以数据驱动替代传统经验试错，大幅缩短高端材料研发周期。目前相关成果已进入客户端验证阶段，为提升我国半导体材料自主化水平、减少对海外供应商依赖提供了重要技术路径。
上海人工智能实验室联合多家科研机构，基于“书生”科学大模型和自动化研发平台，成功攻克高端KrF光刻胶树脂稳定制备难题。团队构建“AI决策+自动化合成”闭环研发体系，实现从实验方案生成、合成到后处理的全流程自动化，并通过精密控制技术将树脂金属杂质含量稳定在极低水平，显著提升材料纯度与一致性。该模式以数据驱动替代传统经验试错，大幅缩短高端材料研发周期。目前相关成果已进入客户端验证阶段，为提升我国半导体材料自主化水平、减少对海外供应商依赖提供了重要技术路径。